Quantitative electron probe microanalysis of multilayer structures

G.F. Bastin, J.M. Dijkstra, H.J.M. Heijligers, D. Klepper

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

1 Downloads (Pure)

Samenvatting

A method is discussed to use the basics of quantitative electron probe microanalysis (EPMA) programs for the analysis of thin films and multi-layer structures. The program described yields good results for both simple cases like a single film on a substrate, as well as for multi-layer systems and for the determination of concentration profiles in depth.
Originele taal-2Engels
TitelProceedings of the EMAS'91 European Workshop, May 1991, Dubrovnik
RedacteurenA. Boekestein, M.K. Pavicevic
Plaats van productieAntwerpen
UitgeverijEMAS
Pagina's93-97
StatusGepubliceerd - 1992

Publicatie series

NaamMikrochimica Acta, Supplement
Volume12
ISSN van geprinte versie0076-8642

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Quantitative electron probe microanalysis of multilayer structures'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Citeer dit