Progress in reactive ion etching of epitaxial GaN

F. Karouta, P. Vreugdewater, B. Jacobs, B.H. Roy, van, O. Schön, H. Protzmann, M. Heuken

Onderzoeksoutput: Niet-tekstuele vormcomputerprogramma softwareProfessioneel

Originele taal-2Engels
UitgeverTechnische Universiteit Eindhoven
StatusGepubliceerd - 1998

Citeer dit