Progress and opportunities in plasma-enhanced ALD

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresOtherAcademic

Samenvatting

No abstract.
Originele taal-2Engels
Aantal pagina's11
StatusGepubliceerd - 2009
Evenementconference; Opening with respect to ALD tool, Holst Centre; 2009-06-18; 2009-06-18 -
Duur: 18 jun. 200918 jun. 2009

Congres

Congresconference; Opening with respect to ALD tool, Holst Centre; 2009-06-18; 2009-06-18
Periode18/06/0918/06/09
AnderOpening with respect to ALD tool, Holst Centre

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Progress and opportunities in plasma-enhanced ALD'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Citeer dit