Processing induced defects in submicron active-passive areas for InP-based membranes on silicon (IMOS)

R. Zhang, J.J.G.M. Tol, van der, P.J.A. Thijs, M.K. Smit

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

2 Downloads (Pure)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Processing induced defects in submicron active-passive areas for InP-based membranes on silicon (IMOS)'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Engineering

Earth and Planetary Sciences