Probing the phase composition of silicon films in situ by etch product detection

G. Dingemans, M.N. van den Donker, A. Gordijn, W.M.M. Kessels, M.C.M. Sanden, van de

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

17 Citaten (Scopus)
180 Downloads (Pure)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Probing the phase composition of silicon films in situ by etch product detection'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Fysica en Astronomie