Polymerisation Processes In Low-Pressure Fluorocarbon Plasmas

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/Congresprocedure › Conferentiebijdrage › Academic › peer review

1 Downloads (Pure)

Originele taal-2	Engels
Titel	Proc. NVV Tweedaags Symposium Plasma- en Gasontladingsfysica
Plaats van productie	Lunteren
Pagina's	45-
Status	Gepubliceerd - 1999
Evenement	conference; NVV Tweedaags Symposium Plasma- en Gasontladingsfysica; 1999-03-09; 1999-03-10 - Duur: 9 mrt. 1999 → 10 mrt. 1999

Congres	conference; NVV Tweedaags Symposium Plasma- en Gasontladingsfysica; 1999-03-09; 1999-03-10
Periode	9/03/99 → 10/03/99
Ander	NVV Tweedaags Symposium Plasma- en Gasontladingsfysica

Citeer dit

@inproceedings{4fcb2fcac3ec4fdaadd296806bfe717e,

title = "Polymerisation Processes In Low-Pressure Fluorocarbon Plasmas",

author = "W.W. Stoffels and \{Stoffels - Adamowicz\}, E.",

year = "1999",

language = "English",

pages = "45--",

booktitle = "Proc. NVV Tweedaags Symposium Plasma- en Gasontladingsfysica",

note = "conference; NVV Tweedaags Symposium Plasma- en Gasontladingsfysica; 1999-03-09; 1999-03-10 ; Conference date: 09-03-1999 Through 10-03-1999",

}

TY - GEN

T1 - Polymerisation Processes In Low-Pressure Fluorocarbon Plasmas

AU - Stoffels, W.W.

AU - Stoffels - Adamowicz, E.

PY - 1999

Y1 - 1999

M3 - Conference contribution

SP - 45-

BT - Proc. NVV Tweedaags Symposium Plasma- en Gasontladingsfysica

CY - Lunteren

T2 - conference; NVV Tweedaags Symposium Plasma- en Gasontladingsfysica; 1999-03-09; 1999-03-10

Y2 - 9 March 1999 through 10 March 1999

ER -