Plasma-enhanced atomic layer deposition of tungsten oxide thin films using (tBuN)2(Me2N)2W and O2 plasma

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

10 Citaten (Scopus)
297 Downloads (Pure)

Vingerafdruk Duik in de onderzoeksthema's van 'Plasma-enhanced atomic layer deposition of tungsten oxide thin films using (tBuN)2(Me2N)2W and O2 plasma'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Chemische stoffen

Engineering en materiaalwetenschappen

Fysica en Astronomie