Plasma-assisted atomic layer deposition of SrTiO3 : stoichiometry and crystallization study by spectroscopic ellipsometry

V. Longo, N. Leick, F. Roozeboom, W.M.M. Kessels

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

7 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Plasma-assisted atomic layer deposition of SrTiO3 : stoichiometry and crystallization study by spectroscopic ellipsometry'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Fysica en Astronomie