Plasma-assisted atomic layer deposition of AI2O3 films

S.B.S. Heil, E. Langereis, M.C.M. Sanden, van de, W.M.M. Kessels

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congres › Poster

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Plasma-assisted atomic layer deposition of AI2O3 films'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Physics