| Originele taal-2 | Engels |
|---|---|
| Titel | 16th International Colloquium on Plasma Processing (CIP 2007), 4-8 June, 2007, Toulouse, France |
| Pagina's | 61- |
| Status | Gepubliceerd - 2007 |
Citeer dit
- APA
- Author
- BIBTEX
- Harvard
- Standard
- RIS
- Vancouver
Plasma assisted atomic layer deposition for 3D integration and other applications
Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/Congresprocedure › Conferentiebijdrage › Academic