Photocrosslinking of ferroelectric polymers and its application in three-dimensional memory arrays

A. J.J.M. Van Breemen, J.B.P.H. Van Der Putten, R. Cai, K. Reimann, A. W. Marsman, N. Willard, D. M. De Leeuw, G. H. Gelinck

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

22 Citaten (Scopus)

Samenvatting

An I-line photolithography process for ferroelectric polymers is developed. It is based on photocrosslinking using a bisazide photoinitiator. Patterned layers were realized down to 1-2μm resolution. Crosslinking yields a close-to-insoluble ferroelectric polymer network that counter intuitively has similar ferroelectric properties as a noncrosslinked film. The negative process is used to stack ferroelectric films on top of each other to make three-dimensional cross-bar arrays of nonvolatile ferroelectric capacitor memories.

Originele taal-2Engels
Artikelnummer183302
Aantal pagina's3
TijdschriftApplied Physics Letters
Volume98
Nummer van het tijdschrift18
DOI's
StatusGepubliceerd - 2 mei 2011
Extern gepubliceerdJa

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Photocrosslinking of ferroelectric polymers and its application in three-dimensional memory arrays'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Citeer dit