| Originele taal-2 | Engels |
|---|---|
| Octrooinummer | WO2021213777A1 |
| IPC | GF03F 1/64 (3012.01) |
| Prioriteitsdatum | 23/04/20 |
| Indieningsdatum | 25/03/21 |
| Status | Gepubliceerd - 28 okt. 2021 |
| Extern gepubliceerd | Ja |
Citeer dit
- APA
- Author
- BIBTEX
- Harvard
- Standard
- RIS
- Vancouver
Pellicle Frame for EUV Lithography
- Kristof Custers (Uitvinder)
- , R.G.C. de Bruijn (Uitvinder)
- , Matthias Kruizinga (Uitvinder)
- , L.A. Schijvenaars (Uitvinder)
Onderzoeksoutput: Octrooi › Octrooi-publicatie
71
Downloads
(Pure)