Patterning Ultra-High Bit Densities by Large-Area e-Beam Lithography

C.G.C.H.M. Fabrie

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

Originele taal-2Engels
TitelNanoNed MicroNed Symposium II; Eindhoven, Netherlands, the (16 nov - 17 nov 2006)
StatusGepubliceerd - 2006

Citeer dit