| Originele taal-2 | Engels |
|---|---|
| Pagina's (van-tot) | 1693-1699 |
| Tijdschrift | Journal of Vacuum Science and Technology B |
| Volume | 23 |
| Nummer van het tijdschrift | 4 |
| DOI's | |
| Status | Gepubliceerd - 2005 |
Citeer dit
- APA
- Author
- BIBTEX
- Harvard
- Standard
- RIS
- Vancouver
Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschrift › Tijdschriftartikel › Academic › peer review
| Originele taal-2 | Engels |
|---|---|
| Pagina's (van-tot) | 1693-1699 |
| Tijdschrift | Journal of Vacuum Science and Technology B |
| Volume | 23 |
| Nummer van het tijdschrift | 4 |
| DOI's | |
| Status | Gepubliceerd - 2005 |