Optimisation of photoresist removal from silicon wafers using atmospheric-pressure plasma jet effluent

A.T. West, M. Schans, van der, C. Xu, T. Gans, M. Cooke, E. Wagenaars

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

4 Downloads (Pure)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Optimisation of photoresist removal from silicon wafers using atmospheric-pressure plasma jet effluent'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Fysica en Astronomie