Optically transparent glass micro-actuator fabricated by femtosecond laser exposure and chemical etching

B.L.K. Lenssen, Y. Bellouard

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

33 Citaten (Scopus)
164 Downloads (Pure)

Samenvatting

Femtosecond laser manufacturing combined with chemical etching has recently emerged as a flexible platform for fabricating three-dimensional devices and integrated optical elements in glass substrates. Here, we demonstrate an optically transparent micro-actuator fabricated out of a single piece of fused silica. This work paves the road for further functional integration in glass substrate and optically transparent microsystems.
Originele taal-2Engels
Artikelnummer103503
Pagina's (van-tot)103503-1/4
Aantal pagina's4
TijdschriftApplied Physics Letters
Volume101
Nummer van het tijdschrift10
DOI's
StatusGepubliceerd - 2012

Vingerafdruk Duik in de onderzoeksthema's van 'Optically transparent glass micro-actuator fabricated by femtosecond laser exposure and chemical etching'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

  • Citeer dit