Doorgaan naar hoofdnavigatie Doorgaan naar zoeken Ga verder naar hoofdinhoud

Optical diagnostics for high electron density plasmas

  • M.C.M. Sanden, van de
  • , R.F.G. Meulenbroeks
  • , J.J. Beulens
  • , A.J.M. Buuron
  • , M.J. Graaf, de
  • , G.J. Meeusen
  • , Z. Qing
  • , J.M. Regt, de
  • , G. Dinescu
  • , D.K. Otorbaev
  • , D.C. Schram

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureHoofdstukAcademicpeer review

240 Downloads (Pure)

Samenvatting

Nowadays high electron density plasmas are, beside their fundamental interest, widely used for many applications, e.g., light sources and plasma processing. The well known examples of high electron density plasmas can be found among the class of thermal plasmas as, e.g., the Inductively Coupled Plasma (ICP) and the Wall Stabilized Cascaded Arc (WSCA). Usually the pressure of the plasma is high, i.e., sub atmospheric to atmospheric. Other examples are the plasmas generated in tokamaks for fusion purposes and the recently exploited plasmas for etching and deposition devices such as the Electron Cyclotron Resonance plasmas. For the plasmas mentioned, the electron density is typical in the range of 1018 to 1023 m3, and the electron velocity distribution is close to a Maxwellian velocity distribution.
Originele taal-2Engels
TitelMicrowave discharges : fundamentals and applications
RedacteurenC.M. Ferreira, M. Moisan
Plaats van productieLondon
UitgeverijPlenum Press
Pagina's279-290
ISBN van geprinte versie0-306-44355-4
StatusGepubliceerd - 1993

Publicatie series

NaamNATO ASI series, Series B: Physics
Volume302
ISSN van geprinte versie0258-1221

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Optical diagnostics for high electron density plasmas'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Citeer dit