New approaches for area-selective atomic layer deposition of oxides

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftMeeting AbstractAcademic

Originele taal-2Engels
Artikelnummer521
TijdschriftAbstracts of Papers of the American Chemical Society
Volume255
StatusGepubliceerd - 18 mrt 2018
Evenement

255th ACS National Meeting

- New Orleans Convention Center, New Orleans, Verenigde Staten van Amerika
Duur: 18 mrt 201822 mrt 2018

Citeer dit