Nanometer-accurate planar actuation system (NAPAS)

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresAbstract

26 Downloads (Pure)
Originele taal-2Engels
Pagina's156
StatusGepubliceerd - 2016
Evenement35th Benelux Meeting on system and Control - Kontakt der Kontinenten, Soesterberg, Nederland
Duur: 22 mrt 201624 mrt 2016

Congres

Congres35th Benelux Meeting on system and Control
LandNederland
StadSoesterberg
Periode22/03/1624/03/16

Citeer dit

Proimadis, I., & Toth, R. (2016). Nanometer-accurate planar actuation system (NAPAS). 156. Abstract van 35th Benelux Meeting on system and Control, Soesterberg, Nederland.