Nano-opto-mechanical sensors for semiconductor metrology

Federico Galeotti

Onderzoeksoutput: Scriptie › Dissertatie 1 (Onderzoek TU/e / Promotie TU/e)

162 Downloads (Pure)

Originele taal-2	Engels
Kwalificatie	Doctor in de Filosofie
Toekennende instantie	Applied Physics and Science Education
Begeleider(s)/adviseur	Fiore, Andrea, Promotor van der Heijden, Rob W., Promotor
Datum van toekenning	29 jun. 2021
Plaats van publicatie	Eindhoven
Uitgever	Technische Universiteit Eindhoven
Gedrukte ISBN's	978-90-386-53075
Status	Gepubliceerd - 29 jun. 2021

Proefschrift.

Toegang tot document

@phdthesis{79d5e5d5c4af4c2ba281d6d54b276cea,

title = "Nano-opto-mechanical sensors for semiconductor metrology",

author = "Federico Galeotti",

note = "Proefschrift.",

year = "2021",

month = jun,

day = "29",

language = "English",

isbn = "978-90-386-53075",

publisher = "Technische Universiteit Eindhoven",

type = "Phd Thesis 1 (Research TU/e / Graduation TU/e)",

school = "Applied Physics and Science Education",

}