Vingerafdruk
Duik in de onderzoeksthema's van 'Multivariable Hx /μ feedback control design for high-precision wafer stage motion'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.- Sorteer per
- Gewicht
- Alfabetische volgorde
Multivariable Hx /μ feedback control design for high-precision wafer stage motion
Marc van de Wal (Corresponding author), Gregor van Baars, Frank Sperling, Okko Bosgra
Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschrift › Tijdschriftartikel › Academic › peer review
146
Citaten
(Scopus)
4
Downloads
(Pure)