Multiple hollow catode: a novel discharge design for sputtering metal vapour ion lasers

M. Grozeva, D.B. Mihailova, N. Sabotinov

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

Samenvatting

No abstract.
Originele taal-2Engels
TitelProceedings 19th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 19), 26-31 July 2009, Bochum, Germany
UitgeverijISPC
Pagina'sP1.5.23-1
StatusGepubliceerd - 2009
Evenement19th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 19), July 26-31, 2009, Bochum, Germany - Bochum, Duitsland
Duur: 26 jul 200931 jul 2009

Congres

Congres19th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 19), July 26-31, 2009, Bochum, Germany
Verkorte titelISPC 19
Land/RegioDuitsland
StadBochum
Periode26/07/0931/07/09
Ander19th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 19)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Multiple hollow catode: a novel discharge design for sputtering metal vapour ion lasers'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Citeer dit