Moving magnet-stage mogelijk stap vooruit voor waferscanners

Huidige waferscanners gebruiken gescheiden actuatoren voor de verplaatsing van de wafer (lange slag) en voor de nauwkeurigheid van de verplaatsing (korte slag). Dit resulteert in een zwaar en complex bewegend deel. Op de TU Eindhoven is onderzoek gedaan naar een alternatieve oplossing waarbij de nauwkeurigheid van de langeslagactuator zo hoog is dat de korteslagactuator niet meer nodig is. Gezien het lage gewicht biedt dit systeem in potentie een enorme verbetering van de acceleratie. De (geschatte) nauwkeurigheid is echter vooralsnog onvoldoende.