Monolithic three dimensional dielectrophoretic actuator for positioning optics fabricated by femtosecond laser

T. Yang, Y.J. Bellouard

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

2 Downloads (Pure)
Originele taal-2Engels
TitelProceedings of the 2014 Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO), 8-13 June 2014, San Jose, California
Plaats van productiePiscataway
UitgeverijInstitute of Electrical and Electronics Engineers
Pagina'sAW1H.5-1/2
StatusGepubliceerd - 2014

Citeer dit