Modelling of microwave plasmas for Si deposition

M.J. Donker, van den, M. Jimenez-Diaz, J. Dijk, van, J.J.A.M. Mullen, van der

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

Originele taal-2Engels
TitelProceedings of the Meeting at the Energieonderzoek Centrum Nederland (ECN), 15 March 2007, Petten, The Netherlands
StatusGepubliceerd - 2007

Citeer dit

Donker, van den, M. J., Jimenez-Diaz, M., Dijk, van, J., & Mullen, van der, J. J. A. M. (2007). Modelling of microwave plasmas for Si deposition. In Proceedings of the Meeting at the Energieonderzoek Centrum Nederland (ECN), 15 March 2007, Petten, The Netherlands