Modeling and control of thermomechanical systems: managing heat-induced deformation in extreme ultraviolet lithography

Daniël Willem Maria Veldman

Onderzoeksoutput: ScriptieDissertatie 1 (Onderzoek TU/e / Promotie TU/e)

71 Downloads (Pure)
Originele taal-2Engels
KwalificatieDoctor in de Filosofie
Toekennende instantie
  • Mechanical Engineering
Begeleider(s)/adviseur
  • Nijmeijer, Henk, Promotor
  • Zwart, Hans J., Promotor
  • Fey, Rob H.B., Co-Promotor
Datum van toekenning11 sep 2020
Plaats van publicatieEindhoven
Uitgever
Gedrukte ISBN's978-90-386-5091-3
StatusGepubliceerd - 11 sep 2020

Bibliografische nota

Proefschrift.

Citeer dit