Model-driven engineering for litho scanners

J.P.M. Voeten, R. Schiffelers, W. Alberts, B.D. Theelen

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresOther

Originele taal-2Engels
StatusGepubliceerd - 2012
Evenementconference; Invited presentation at ICTDelta 2012; 2012-10-24; 2012-10-24 -
Duur: 24 okt 201224 okt 2012

Congres

Congresconference; Invited presentation at ICTDelta 2012; 2012-10-24; 2012-10-24
Periode24/10/1224/10/12
AnderInvited presentation at ICTDelta 2012

Citeer dit