Modal Identification for Multivariable Motion Systems: Applied to a Prototype Wafer-Stage

Maarten van der Hulst, Rodrigo González, Koen Classens, P.J.M.M. Tacx, N.J. Dirkx, J.J.M. van de Wijdeven, Tom A.E. Oomen

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresAbstractAcademic

9 Downloads (Pure)
Originele taal-2Nederlands
Pagina's13
Aantal pagina's1
StatusGepubliceerd - 28 feb. 2025
Evenement44th Benelux Meeting on Systems and Control - Hotel Zuiderduin, Egmond aan Zee, Nederland
Duur: 18 mrt. 202520 mrt. 2025
Congresnummer: 44
https://www.beneluxmeeting.nl/

Congres

Congres44th Benelux Meeting on Systems and Control
Verkorte titelBenelux 2025
Land/RegioNederland
StadEgmond aan Zee
Periode18/03/2520/03/25
Internet adres

Citeer dit