Microsystems and sensors

Y.J. Bellouard, A.A. Said, M. Dugan, P. Bado

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureHoofdstukAcademic

1 Citaat (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Samenvatting

In this chapter, the use of femtosecond laser to fabricate glass-based microsystems and sensors is examined. Several advanced technology demonstrators are presented, including some very unusual fused silica MEMS. Present technological barriers are discussed.
Originele taal-2Engels
TitelFemtosecond laser micromachining : photonic and microfluidic devices in transparent materials
RedacteurenR. Osellame, G. Cerullo, R. Ramponi
UitgeverijSpringer
Pagina's443-465
Aantal pagina's483
ISBN van geprinte versie978-3-642-23365-4
DOI's
StatusGepubliceerd - 2012

Publicatie series

NaamTopics in Applied Physics
Volume123
ISSN van geprinte versie0303-4216

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Microsystems and sensors'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Citeer dit