Micro- and Nano-Structuring using Ion Beams

W.H. Bruenger, A.H. Dietzel, H. Loeschner, E. Platzgummer

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

Originele taal-2Engels
Titel4M2006 Conference on Multi-Material Micro Manufacture
Plaats van productieFrance, Grenoble
StatusGepubliceerd - 2006

Citeer dit