Method of treating surfaces of substrates with the aid of a plasma and a reactor for carrying out the method

D.C. Schram (Uitvinder), G.M.W. Kroesen (Uitvinder)

Onderzoeksoutput: OctrooiOctrooi-publicatie

Originele taal-2Engels
Octrooinummer1324979
StatusGepubliceerd - 7 dec. 1993

Citeer dit