Method for applying a thin film barrier stack to a device with microstructures, and device provided with such a thin film barrier stack

W.S. Mischke (Uitvinder), F.J.H. Assche, van (Uitvinder), F.C. Dings (Uitvinder), R.T. Vangheluwe (Uitvinder), W.M.M. Kessels (Uitvinder), M.C.M. Sanden, van de (Uitvinder)

Onderzoeksoutput: OctrooiOctrooi-publicatie

1 Downloads (Pure)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Method for applying a thin film barrier stack to a device with microstructures, and device provided with such a thin film barrier stack'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Engineering

Material Science

Earth and Planetary Sciences