Mechanical measurement of the residual stress in thin PVD films

R.O.E. Vijgen, J.H. Dautzenberg

    Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelPopulair

    67 Citaten (Scopus)
    473 Downloads (Pure)
    Originele taal-2Engels
    Pagina's (van-tot)264-269
    TijdschriftThin Solid Films
    Volume270
    Nummer van het tijdschrift1-2
    DOI's
    StatusGepubliceerd - 1995

    Citeer dit