| Originele taal-2 | Engels |
|---|---|
| Plaats van productie | Eindhoven |
| Uitgeverij | Eindhoven University of Technology |
| Aantal pagina's | 28 |
| Status | Gepubliceerd - 2011 |
Mechanical design of a six degree of freedom magnetic levitated wafer stage
G.A. Erp, van, M. Steinbuch (Begeleider), H.M. Gutierrez (Begeleider)
Onderzoeksoutput: Boek/rapport › Rapport › Academic