Low-temperature aluminium oxide deposition using the extending thermal plasma technique : film properties and applications

I. Volintiru, J.L. Hemmen, van, M. Creatore, M.C.M. van de Sanden

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPoster

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Low-temperature aluminium oxide deposition using the extending thermal plasma technique : film properties and applications'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Material Science