Local deposition of high-purity Pt nanostructures by combining electron beam induced deposition and atomic layer deposition

A.J.M. Mackus, J.J.L. Mulders, M.C.M. Sanden, van de, W.M.M. Kessels

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschrift › Tijdschriftartikel › Academic › peer review

72 Citaten (Scopus)
323 Downloads (Pure)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Local deposition of high-purity Pt nanostructures by combining electron beam induced deposition and atomic layer deposition'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Engineering

Material Science