Local deposition of high-purity Pt nanostructures by combining Electron Beam Induced Deposition (EBID) and Atomic Layer Deposition (ALD)

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

3 Downloads (Pure)

Samenvatting

abstract only.
Originele taal-2Engels
TitelPhysics@FOM Veldhoven, 19-20 January 2010, Veldhoven, The Netherlands
RedacteurenM. Graef, de, G. Zegers, E. Min, F. Pavert, van de
Plaats van productieUtrecht
UitgeverijStichting FOM
Pagina'sP03.57-162
StatusGepubliceerd - 2010

Vingerafdruk Duik in de onderzoeksthema's van 'Local deposition of high-purity Pt nanostructures by combining Electron Beam Induced Deposition (EBID) and Atomic Layer Deposition (ALD)'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

  • Citeer dit

    Mackus, A. J. M., Mulders, J. J. L., Sanden, van de, M. C. M., & Kessels, W. M. M. (2010). Local deposition of high-purity Pt nanostructures by combining Electron Beam Induced Deposition (EBID) and Atomic Layer Deposition (ALD). In M. Graef, de, G. Zegers, E. Min, & F. Pavert, van de (editors), Physics@FOM Veldhoven, 19-20 January 2010, Veldhoven, The Netherlands (blz. P03.57-162). Stichting FOM.