Lithographic apparatus, device manufacturing methods, mask and method of characterizing a mask and/or pellicle

J.C.M. Jasper (Uitvinder), M.K.M. Baggen (Uitvinder), R.J. Bruls (Uitvinder), O.S. Cicilia (Uitvinder), H.A.L. van Dijck (Uitvinder), G.C.J. Hofmans (Uitvinder), A.J.M. Jansen (Uitvinder), C.C.M. Luijten (Uitvinder), W.R. Pongers (Uitvinder), M.G.D. Wehrens (Uitvinder), T. Uitterdijk (Uitvinder), H. Boom (Uitvinder), M.J.L.M. Demarteau (Uitvinder)

Onderzoeksoutput: OctrooiOctrooi-publicatie

51 Downloads (Pure)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Lithographic apparatus, device manufacturing methods, mask and method of characterizing a mask and/or pellicle'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Engineering