Laser interferometer measurements on a six-Degree-of-Freedom controlled moving-magnet planar actuator

J. Achterberg, J.M.M. Rovers, C.M.M. Lierop, van, J.W. Jansen

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

Originele taal-2Engels
TitelProceedings of the Eighth International Symposium on Linear Drives for Industry Applications (LDIA11), 3-6 July 2011, Eindhoven, The Netherlands
StatusGepubliceerd - 2011

Citeer dit