Large-Area Scatterometry for Nanoscale Metrology

Jaime Gómez Rivas, Mohammad Ramezani, Marc Verschuuren, Gabriel Castellanos

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

33 Downloads (Pure)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Large-Area Scatterometry for Nanoscale Metrology'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Engineering

Physics

Material Science