Iterative identification and control using non-normalized coprime factors with application in wafer stage motion control

Frank Boeren, Alexander Lanzon (Corresponding author), Tom Oomen

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

27 Downloads (Pure)

Vingerafdruk Duik in de onderzoeksthema's van 'Iterative identification and control using non-normalized coprime factors with application in wafer stage motion control'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Engineering en materiaalwetenschappen