Ion-Projection Direct Structuring of Patterned Media

H. Loeschner; E. Platzgummer; G. Stengl; H. Buschbeck; E. Cekan; A. Chylik; E. Haugeneder; R. Kortner; A.H. Dietzel; R. Berger; H. Grimm; B.D. Terris; W.H. Bruenger; D. Adam; M. Boehm; H. Eichhorn; R. Springer; J. Butschke; F. Letzkus

Ion-Projection Direct Structuring of Patterned Media

H. Loeschner, E. Platzgummer, G. Stengl, H. Buschbeck, E. Cekan, A. Chylik, E. Haugeneder, R. Kortner, A.H. Dietzel, R. Berger, H. Grimm, B.D. Terris, W.H. Bruenger, D. Adam, M. Boehm, H. Eichhorn, R. Springer, J. Butschke, F. Letzkus

Microsystems

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/Congresprocedure › Conferentiebijdrage › Academic › peer review

Originele taal-2	Engels
Titel	MNE conference 2002
Plaats van productie	Switzerland, Lugano
Status	Gepubliceerd - 2002

Citeer dit

@inproceedings{c2c9548f140e4c43b75110935f3901b1,

title = "Ion-Projection Direct Structuring of Patterned Media",

author = "H. Loeschner and E. Platzgummer and G. Stengl and H. Buschbeck and E. Cekan and A. Chylik and E. Haugeneder and R. Kortner and A.H. Dietzel and R. Berger and H. Grimm and B.D. Terris and W.H. Bruenger and D. Adam and M. Boehm and H. Eichhorn and R. Springer and J. Butschke and F. Letzkus",

year = "2002",

language = "English",

booktitle = "MNE conference 2002",

}

TY - GEN

T1 - Ion-Projection Direct Structuring of Patterned Media

AU - Loeschner, H.

AU - Platzgummer, E.

AU - Stengl, G.

AU - Buschbeck, H.

AU - Cekan, E.

AU - Chylik, A.

AU - Haugeneder, E.

AU - Kortner, R.

AU - Dietzel, A.H.

AU - Berger, R.

AU - Grimm, H.

AU - Terris, B.D.

AU - Bruenger, W.H.

AU - Adam, D.

AU - Boehm, M.

AU - Eichhorn, H.

AU - Springer, R.

AU - Butschke, J.

AU - Letzkus, F.

PY - 2002

Y1 - 2002

M3 - Conference contribution

BT - MNE conference 2002

CY - Switzerland, Lugano

ER -