Ion flux measurements in an Ar/NH3/SiH4-remote plasma using a pulse shaped double-side capacitive probe

M.C. Petcu, A.C. Bronneberg, M. Creatore, M.C.M. Sanden, van de

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

Originele taal-2Engels
Titel14th international Conference on Plasma Physics and Applications, September 14-18, 2007, Brasov, Romania
RedacteurenB. Mitu, G. Dinescu
Pagina's39-
StatusGepubliceerd - 2007

Citeer dit