Ion energy modulation in an RF gas discharge

P.M. Vallinga, P.M. Meijer, H. Deutsch, F.J. de Hoog

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

Originele taal-2Engels
TitelICPIG : International Conference on Phenomena in ionized gases, 18th, Swansea, 13-17 July, 1987
Plaats van productieBristol
UitgeverijHilger
Pagina's814-815
Volume4
StatusGepubliceerd - 1987
Evenement18th International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG XVIII) - Swansea, Verenigd Koninkrijk
Duur: 13 jul 198717 jul 1987

Congres

Congres18th International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG XVIII)
Land/RegioVerenigd Koninkrijk
StadSwansea
Periode13/07/8717/07/87

Citeer dit