Investigation of ion energy distribution functions in EUV-induced plasmas by ion mass spectrometry

T.H.M. van de Ven, P. Reefman, E.A. Osorio, V.Y. Banine, J. Beckers

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresAbstractAcademic

95 Downloads (Pure)
Filter
Aangemelde presentatie

Zoekresultaten