Integrated simulation in EUV source

T.P.M. Boshoven

Onderzoeksoutput: Scriptie › EngD Thesis

450 Downloads (Pure)

Originele taal-2	Engels
Begeleider(s)/adviseur	Cuijpers, Pieter J.L., Begeleider Ernest Mithun, Xavier Lobo, Externe begeleider Coppelmans, Dirk, Externe begeleider, Externe Persoon
Datum van toekenning	25 sep. 2015
Plaats van publicatie	Eindhoven
Uitgever	Technische Universiteit Eindhoven
Gedrukte ISBN's	978-90-444-1389-2
Status	Gepubliceerd - 25 sep. 2015

Eindrapport

Toegang tot document

@phdthesis{cefa82191cdd43029579272c85c1729d,

title = "Integrated simulation in EUV source",

author = "T.P.M. Boshoven",

note = "Eindverslag. - Public version",

year = "2015",

month = sep,

day = "25",

language = "English",

isbn = "978-90-444-1389-2",

series = "PDEng rapport",

publisher = "Technische Universiteit Eindhoven",

type = "EngD Thesis",

}