InP-based waveguides: comparison of ECR plasma etching and wet-chemical etching

J.J.G.M. Tol, van der, M. Silova, F. Karouta, R.G. Broeke, H.H. Tan, C. Jagadish, E. Smalbrugge, B.H. Roy, van

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

Originele taal-2Engels
TitelProceedings of the 5th annual symposium of the IEEE/LEOS Benelux Chapter : October 30, 2000, Delft , the Netherlands
RedacteurenX.J.M. Leijtens, J.H. Besten, den
Plaats van productieDelft
UitgeverijDelft University of Technology
Pagina's127-130
ISBN van geprinte versie90-9014260.6
StatusGepubliceerd - 2000
Evenement5th Annual Symposium of the IEEE/LEOS Benelux Chapter - Delft, Nederland
Duur: 30 okt 200030 okt 2000

Congres

Congres5th Annual Symposium of the IEEE/LEOS Benelux Chapter
Land/RegioNederland
StadDelft
Periode30/10/0030/10/00

Citeer dit