InP-based membrane couplers for optical interconnects on Si

P.R.A. Binetti, R. Orobtchouk, X.J.M. Leijtens, B. Han, T. Vries, de, Y.S. Oei, L. Di Cioccio, J.-M. Fédéli, C. Lagahe, P.J. Veldhoven, van, R. Nötzel, M.K. Smit

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

10 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Samenvatting

We present the design, fabrication, and characterization of a membrane coupler processed on an indium phosphide membrane layer on a silicon-on-insulator wafer, that is used for applications in optical interconnects on silicon. Measured coupler efficiency is 50%. The photonic device fabrication is compatible with wafer scale processing steps, guaranteeing compatibility towards future generation electronic integrated circuit processing.
Originele taal-2Engels
Pagina's (van-tot)337-339
Aantal pagina's3
TijdschriftIEEE Photonics Technology Letters
Volume21
Nummer van het tijdschrift5
DOI's
StatusGepubliceerd - 2009

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'InP-based membrane couplers for optical interconnects on Si'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Citeer dit