Infrared and optical emission spectroscopy study of the surface chemistry in atmospheric-pressure plasma-enhanced spatial ALD of Al2O3

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Vingerafdruk Duik in de onderzoeksthema's van 'Infrared and optical emission spectroscopy study of the surface chemistry in atmospheric-pressure plasma-enhanced spatial ALD of Al2O3'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Engineering en materiaalwetenschappen