Influence of the ion bombardment on the growth and moisture permeation barrier properties of SiO2-like films deposited by remote plasma

A. Milella, M. Creatore, M.A. Blauw, M.C.M. Sanden, van de

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congres › Poster

2 Downloads (Pure)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Influence of the ion bombardment on the growth and moisture permeation barrier properties of SiO2-like films deposited by remote plasma'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Engineering

Material Science